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新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，贵阳特种气体，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，哪里有特种气体厂家，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，生产特种气体厂家，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

LED产业的特种气体市场需求

　　目前，全球每年对高纯电子气体的需求速度递增，供应特种气体厂家，2009年全球LED用高纯度特种气体市场规模已达20亿美元。美国Air Product、Praxair、德国Linder、法国Air Liquid、日本昭和等几大气体公司在全球市场占有垄断地位，年产能高达数千吨。

　　近年来随着光电子、微电子技术的发展，特别是氮化jia技术的突破，对特种气体的需求和技术要求愈来愈高。越来越多的生产厂家和用户开始关注原材料的质量及其对生产、销售和企业经济效益带来的影响。

电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。

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